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技術(shù)文章

真空環(huán)境靜電檢測-日本kasuga兼容真空的靜電勢傳感器KS-3101

日本kasuga兼容真空的靜電勢傳感器KS-3101

在真空中,減少靜電的氣體成分非常稀薄,以至于即使在大氣壓下,靜電也會導(dǎo)致嚴(yán)重的生產(chǎn)故障。

 具有真空能力的靜電勢傳感器使用的材料和材料可以在真空環(huán)境中使用,并且可以用來測量真空中產(chǎn)生的靜電。用它來確定真空過程中產(chǎn)生靜電的原因,并連續(xù)監(jiān)測靜電勢。

型號KS-3101
檢測方式振動式表面電位傳感器
推薦真空度10 0 Pa以下
測量范圍

高壓范圍:0至±20.0kV(測量距離100mm)

LOW范圍:0至±2000V(測量距離10mm)

測量精度±10%以內(nèi)
警告檢測傳感器故障LED顯示
使用環(huán)境溫度0?40℃,濕度65%以下(無凝露)
彌撒約100克(不包括電纜和控制盒)
配置必要性

真空電纜:KS-3101-C01(電纜長度1m,可擴展)

控制箱:KS-3101-B05(帶空氣側(cè)電纜5M,可擴展)

控制器:KSD-0110或KSD-0120

選件真空法蘭

 

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