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技術(shù)文章

日本kyowariken共和理研產(chǎn)品介紹

日本kyowariken共和理研產(chǎn)品介紹

 

スピンコーター
 
本器は、シリコンウェハー及びガラス基盤上にフォトレジスト等の薬液を効率よく、且つ均一に回転塗布することを目的とした高性能小型フォトレジストスピンナーです。
＜K-359S1簡(jiǎn)易型＞（製造中止）

２ステップ/アナログメーター/MAX6000rpm/サンプルサイズ～４インチφ

詳細(xì)
＜K-359S1簡(jiǎn)易型＞

２ステップ/デジタルメーター/MAX6000rpm/サンプルサイズ～４インチφ

詳細(xì)
＜K-359SＤ１＞

３ステップ/デジタルメーター/MAX7000rpm/サンプルサイズ～６インチφ
プレッシャーセンサー/インターロック付カバー

詳細(xì)
＜K-359SＤ２＞

３ステップ/デジタルメーター/MAX7000rpm/サンプルサイズ～８インチφ
プレッシャーセンサー/インターロック付カバー

詳細(xì)

＜K-359SＤ３＞

３ステップ/デジタルメーター/MAX3000rpm/サンプルサイズ～１２インチφ
プレッシャーセンサー/インターロック付カバー/排気口

詳細(xì)

 

 

 

 

 

スピンコーター
 
本器は、シリコンウェハー及びガラス基盤上にフォトレジスト等の薬液を効率よく、且つ均一に回転塗布することを目的とした高性能小型フォトレジストスピンナーです。
＜K-359S1簡(jiǎn)易型＞（製造中止）

２ステップ/アナログメーター/MAX6000rpm/サンプルサイズ～４インチφ

詳細(xì)
＜K-359S1簡(jiǎn)易型＞

２ステップ/デジタルメーター/MAX6000rpm/サンプルサイズ～４インチφ

詳細(xì)
＜K-359SＤ１＞

３ステップ/デジタルメーター/MAX7000rpm/サンプルサイズ～６インチφ
プレッシャーセンサー/インターロック付カバー

詳細(xì)
＜K-359SＤ２＞

３ステップ/デジタルメーター/MAX7000rpm/サンプルサイズ～８インチφ
プレッシャーセンサー/インターロック付カバー

詳細(xì)
＜K-359SＤ３＞

３ステップ/デジタルメーター/MAX3000rpm/サンプルサイズ～１２インチφ
プレッシャーセンサー/インターロック付カバー/排気口

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マスクアライナー
 
本裝置は研究開発を目的としたネガマスク露光の際、サンプルとのアライメントを正確かつ容易に行え、超高圧水銀燈を用いた小型軽量な紫外線照射裝置との組み合わせで効率よく露光することが可能なマニュアルU(xiǎn)V露光裝置です。

＜K-307PS95簡(jiǎn)易型＞
卓上型?低価格?教育実習(xí)向き
コリメータータイプ

詳細(xì)

＜K-309PW95＞
卓上型?高精度アライメントマニピュレーター
コリメータータイプ
詳細(xì)
＜K-311PS100＞
卓上型?高性能インテグレータータイプ
詳細(xì)

＜K-310P100S/165S＞
卓上型?高精度アライメントマニピュレーター
高性能インテグレータータイプ

詳細(xì)

＜K-400PS95＞
両面露光?専用架臺(tái)付
コリメータータイプ

詳細(xì)

 

 
抵抗率測(cè)定器
 
本裝置は直流四探針法に基づいて開発された測(cè)定裝置です。測(cè)定架臺(tái)及び、四探針プローブを取り揃えております。
＜K-705R簡(jiǎn)易型＞

詳細(xì)
＜K-705RS＞

詳細(xì)
測(cè)定架臺(tái)
＜K-504RS簡(jiǎn)易型＞
サンプルサイズ～１３５ｍｍ□

詳細(xì)
＜K-503RS簡(jiǎn)易型＞
サンプルサイズ～50ｍｍ□

詳細(xì)
K-504RB簡(jiǎn)易型＜K-504RB簡(jiǎn)易型＞
サンプルサイズ～135ｍｍ□

詳細(xì)
＜K-503RB簡(jiǎn)易型＞
サンプルサイズ～50ｍｍ□

詳細(xì)
＜K-503RX100＞
サンプルサイズ～４インチφ

詳細(xì)
＜K-503RX150＞
サンプルサイズ～６インチφ

詳細(xì)
＜K-505RB300＞
サンプルサイズ～12インチφ/300mm□

詳細(xì)
＜K-505RB400＞
サンプルサイズ～16インチφ/400mm□

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＜ウェハーライフタイム測(cè)定裝置＞?。耍罚玻癓H2
本裝置は共振回路を用いた新しいタイプのライフタイム測(cè)定器です。
シリコンウェハーのライフタイム測(cè)定器を非接觸で容易に行うことが可能です。ご使用目的に応じたオシロスコープを選定することにより有効にその実力を発揮します。
ライフタイム測(cè)定範(fàn)囲1μS～1000μS(1Ω?cm以上)
分解能20mmφ
RF周波數(shù)40MHz
照射光源赤外LED
測(cè)定可能サンプルサイズ20mmφ～200mmφ t max=2.0mm
寸法W 260×D 470×H 290mm
消費(fèi)電力AC100V 50W

 

 

 

 

 
抵抗率測(cè)定器
 
本裝置は直流四探針法に基づいて開発された測(cè)定裝置です。測(cè)定架臺(tái)及び、四探針プローブを取り揃えております。
＜K-705R簡(jiǎn)易型＞

詳細(xì)
＜K-705RS＞

詳細(xì)
測(cè)定架臺(tái)
＜K-504RS簡(jiǎn)易型＞
サンプルサイズ～１３５ｍｍ□

詳細(xì)
＜K-503RS簡(jiǎn)易型＞
サンプルサイズ～50ｍｍ□

詳細(xì)
K-504RB簡(jiǎn)易型＜K-504RB簡(jiǎn)易型＞
サンプルサイズ～135ｍｍ□

詳細(xì)
＜K-503RB簡(jiǎn)易型＞
サンプルサイズ～50ｍｍ□

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＜K-503RX100＞
サンプルサイズ～４インチφ

詳細(xì)
＜K-503RX150＞
サンプルサイズ～６インチφ

詳細(xì)
＜K-505RB300＞
サンプルサイズ～12インチφ/300mm□

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＜K-505RB400＞
サンプルサイズ～16インチφ/400mm□

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聯(lián)系人：林經(jīng)理
地址：深圳市龍崗區(qū)龍崗街道新生社區(qū)新旺路和健云谷2棟B座1002
Email：akiyama_linkkk@163.com
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