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技術(shù)文章

氧氣表MS-500日本toray東麗氧氣分析儀簡(jiǎn)介

氧氣表MS-500

MS-500

  • 最多可以同時(shí)測(cè)量8個(gè)點(diǎn)
  • 可以顯示從ppm級(jí)到100%的多種濃度。
  • 非常適合安裝在半導(dǎo)體制造設(shè)備,真空設(shè)備等上。
  • 傳感器為直接插入型(用于真空的NW法蘭16/25/40)
  • 特殊涂層應(yīng)用于高度耐用的傳感器,以進(jìn)一步提高耐用性。

MS-500設(shè)備規(guī)格

測(cè)量原理 氧化鋯濃縮電池供電
形狀 分體式(轉(zhuǎn)換器:壁掛式,傳感器:直接插入式)
顯示方式 4位數(shù)字顯示(濃度顯示)
測(cè)量范圍 0-1 / 10/100 / 1000PPM / 1/10 / 100體積%氧氣2 10 -20?10 -0大氣壓
自動(dòng)范圍
重復(fù)性 在±0.5%FS 0-1%范圍內(nèi)或更高
±1%FS以下或≤± 
0.1ppm的較大范圍內(nèi)0-1%小于0-1ppm,atm范圍超出了保證的濃度范圍
測(cè)量點(diǎn)數(shù) 1-8
樣氣條件 壓力 10 -3至200 KPa(壓力)
流量 0.5-5,000 mL / min或0 mL / min(自然擴(kuò)散狀態(tài)的測(cè)量)
濕度 露點(diǎn)低于環(huán)境溫度
溫度 0-100℃
其他 不包含腐蝕性氣體(基于氟的氣體,基于氯的氣體,基于硫的氣體等),包含有機(jī)硅的氣體,可燃成分(包括氣體),油和水。
比較氣 大氣層
記錄儀輸出 僅變速箱輸出
變速箱輸出 RS-232C
報(bào)警輸出 沒(méi)有
熱身時(shí)間 6分鐘以內(nèi)
尺寸 MS-500(控制器) 92(W)x 44(H)x 120(D)(不包括突起)
MS-510(轉(zhuǎn)換器) 100(W)x 40(H)x 88(D)(不包括突起)
傳感器單元 SD16NW 全長(zhǎng)100mm(感應(yīng)部分Φ11×39,主體部分Φ40×51)
SD25NW 全長(zhǎng)100mm(感應(yīng)部分Φ11×42,主體部分Φ40×48)
SD40NW 全長(zhǎng)100mm(感應(yīng)部分Φ11×41,主體部分Φ40×49)
大量的 MS-500(控制器) 約0.6Kg
MS-510(傳感器) 約0.5kg
傳感器單元 SD16NW 約0.2Kg
SD25NW 約0.2Kg
SD40NW 約0.35Kg
外部連接 真空法蘭之一(NW16、25、40)
使用電源 24VDC±10%
聯(lián)系人:林經(jīng)理
地址:深圳市龍崗區(qū)龍崗街道新生社區(qū)新旺路和健云谷2棟B座1002
Email:akiyama_linkkk@163.com
郵編:
QQ:909879999

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