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技術(shù)文章

twin nines納米粗糙度高度測量儀的特點(diǎn)

twin nines納米粗糙度高度測量儀的特點(diǎn)

Nanoseven 可以通過使用激光的非接觸式方法,在短時間內(nèi),在大范圍內(nèi)以亞納米級精度測量待測物體的表面粗糙度和臺階高度。

引入 nanoseven 的 7 個好處

特點(diǎn) 1 縮短測量時間

只需 25 秒即可測量 100 µm x 100 µm 區(qū)域的表面粗糙度。*以 3µm 間距測量時。

 AFM 通常需要大約 15 分鐘。

特點(diǎn) 2 寬范圍測量

Nanoseven 的測量范圍取決于樣品臺的可移動區(qū)域。由于它可以在 X 軸(水平軸)上最多移動 45 毫米,在 Y 軸(深度軸)上最多移動 45 毫米,因此理論上可以在此范圍內(nèi)一次測量。此外,可以對樣品臺進(jìn)行大規(guī)模改造,從而可以測量更廣泛的范圍。

特殊功能 3 無需防震臺

Nanoseven采用的“光學(xué)外差干涉測量系統(tǒng)"不使用干涉條紋進(jìn)行測量,不像一般的白光干涉測量,因此它可以抵抗外部干擾的噪聲,并且不需要防振臺。

特點(diǎn) 4 輕松測量

原則上,不需要對測量對象進(jìn)行特殊預(yù)處理。此外,不使用真空設(shè)備。它具有易于操作的設(shè)計,無需專門的操作員即可操作。

特點(diǎn) 5 高分辨率

Nanoseven 使用光學(xué)外差干涉法,這是一種基于光波長相位差的測量方法,因此可以以 0.1 nm(納米)或更小的高度分辨率進(jìn)行測量。

特點(diǎn) 6 非接觸式測量

Nanoseven 是一種使用紅色激光的非接觸式測量儀器,因此不會對被測物體產(chǎn)生不利影響。此外,由于它是非接觸式的,因此與接觸式測量儀器相比,可以進(jìn)行高速測量。激光輸出只有幾毫瓦,是一種節(jié)能安全的設(shè)計。

特點(diǎn)7 運(yùn)行成本低

安裝時無需隔振臺或真空設(shè)備等附帶設(shè)備,幾乎沒有耗材,購買后可降低運(yùn)行成本。此外,由于不需要專門的操作員,也有助于降低人工成本。

規(guī)格

規(guī)格 表
高度方向分辨率0.1 納米(納米)
標(biāo)準(zhǔn)高度測量范圍0.5nm 至 300nm
測量方法非接觸式
最大行程 [*1]X:45mm / Y:45mm
光源氦氖激光(632.8nm)
物鏡放大倍率 20X / NA 0.4
電源AC100V
體重約27公斤
配件噪聲濾波器
外形尺寸機(jī)身:W220×D550×H420mm
控制箱:W172×D350×H315mm


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