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技術文章

半導體開發(fā)/制造及無塵室用露點儀的特點

半導體開發(fā)/制造及無塵室用露點儀的特點


在半導體開發(fā)/制造過程中,去除顆粒、水分和氧氣等干擾因素是一個主要問題。我們的露點計、溫濕度計和氧濃度計用于半導體制造、運輸和檢查等各種過程,以確認消除干擾。也用于除濕空氣(干燥空氣)的除濕和氮氣、氬氣、氦氣、氫氣等的氣體純度測量和管理。相反,一些過程需要高水分含量,在這個過程中進行露點測量以保持水分含量恒定。主要使用以下產品。

水分測量

(1) 將水分含量控制在極小量(ppb 至 1 位數 ppm)的過程
 ? TK-100 電容式露點計(氧化鋁型),可測量低露點 -100° C (
2) 微量水分 (ppm) 由
 ? TE-660 露點儀(聚合物型)低露點為 -60°
C的過程控制
 。(鏡面型)露點儀
④ 過程和無塵室需要相對濕度水平控制的
 ? 簡單的 EE060
⑤ 需要大量水分并需要控制恒定水分的過程
 ? 主要在高溫和高濕度下測量 EE33 帶防結露措施的溫濕度計

氧氣濃度測量

(1) 需要通過氫氣置換等去除氧氣的工序
 ? 2001LC 原電池式氧氣濃度計可以確認 1 ppm
以下
 . 4100 型氧化鋯氧氣分析儀

風速計

(1) 潔凈室和制造設備中氣流很重要的過程
 ? 能夠測量微風的風速計

主要產品

    TK-100
    在線露點儀

    技術測量暢銷書

    • 容性的

    • ±2℃dp

    • 安裝類型

    • -100 至 +20℃dp

    • PPM

    TE-660
    露點變送器

    聚合物露點儀

    • 聚合物配方

    • ±2℃dp

    • 安裝類型

    • -60 至 +20℃dp

    MBW373

    高精度

    • 鏡子類型

    • ±0.1℃dp

    • 安裝類型

    • -100 至 +20℃dp

    • ~+95℃dp

    • ~+140℃dp

    型號201/2001LC

    低價機型

    • 原電池類型

    • 安裝類型

    • PPM

    • %

    • 貼牌型號

    EE33

    適用于高濕度和惡劣環(huán)境的溫濕度計

    • 工業(yè)溫濕度露點儀

    • 安裝類型

    • ~+95℃dp

    • 溫度 -40 至 +180℃

    • 防結露加熱功能

    EE060/061

    低價型

    • 空調、農業(yè)等通用溫濕度計

    • 安裝類型

    • 探頭類型

    • 溫度 -40 至 +80℃

    • 貼牌型號



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