迷你臺(tái)棱鏡半自動(dòng)超高溫實(shí)驗(yàn)反應(yīng)釜的特點(diǎn)

迷你臺(tái)棱鏡半自動(dòng)超高溫實(shí)驗(yàn)反應(yīng)釜的特點(diǎn)

半自動(dòng)超高溫實(shí)驗(yàn)反應(yīng)釜最高2000°C

迷你工作臺(tái)增加了PLC自動(dòng)序列以提高
可操作性[迷你工作臺(tái)棱鏡（迷你工作臺(tái)棱鏡）]

真空置換爐	最高2000°C
還原氣氛爐	最高2000°C

PLC半自動(dòng)控制自動(dòng)順序控制（手動(dòng)調(diào)節(jié)氣體流量→針閥）
半自動(dòng)控制型電爐操作的自動(dòng)順序控制臺(tái)式型號(hào) “抽真空"和“排氣
" Mini-BENCH監(jiān)測冷卻水異常、腔室溫度異常和超壓異常。由SUS堅(jiān)固的水冷室制成，即使在最高溫度下連續(xù)使用也可以安全使用。

特征

節(jié)省空間：603（闊）x 603（深）x 1，170（高）mm
PLC半自動(dòng)操作：（抽真空/吹掃x 3循環(huán)排氣）
聯(lián)鎖（冷卻水、腔室表面溫度/加熱器過溫、真空度、腔室打開/關(guān)閉）
圓柱形加熱器（用于坩堝）、平面加熱器（用于晶圓燒制）
工作氣氛：真空、惰性氣體、還原性氣氛

原理圖規(guī)格

	真空和氣體置換爐（碳爐）	還原氣氛爐（金屬爐）
最高工作溫度	最高2000°C
加熱器	石墨或C/C復(fù)合加熱器	鎢加熱器
絕緣	石墨氈材料	鎢屏蔽層，氧化鋁絕緣
真空室	SUS304水冷夾套結(jié)構(gòu)，頂部裝載，線性驅(qū)動(dòng)可打開（Φ3，僅4英寸）
使用氛圍	在真空或惰性氣體（Ar、N2）中	在真空中，惰性氣體（Ar，N2），還原氣體（H2等）
有效加熱范圍	Φ1“~ Φ4"（用于晶圓片進(jìn)料燒制的平面加熱器），或 -Φ80 x 深度最大100 （H） mm （圓柱形加熱器）
極限真空度	1x10-2 帕斯卡（* 用于空爐）
真空泵	旋轉(zhuǎn)泵（可選：干泵、高真空泵）
熱電偶	包括C型熱電偶
聯(lián)鎖	腔室表面溫度、加熱器超溫、冷卻水減少、腔室打開和關(guān)閉
公用設(shè)施和冷卻水	加熱器額定值最大 6KVA（* 取決于加熱范圍尺寸），冷卻水 3 升/分鐘 0.4Mpa