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產(chǎn)品資料
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日本napson平板電阻薄層電阻測量半自動裝置

產(chǎn)品名稱: 日本napson平板電阻薄層電阻測量半自動裝置
產(chǎn)品型號: RG-100PV
產(chǎn)品特點(diǎn): 日本napson平板電阻薄層電阻測量半自動裝置
玻璃基板上薄膜的四探針法半自動測量儀
XY軸機(jī)構(gòu)臺
平面內(nèi)多點(diǎn)測量配備了均勻螺距或隨機(jī)螺距設(shè)置選擇以及2-D ??/ 3-D映射軟件。

日本napson平板電阻薄層電阻測量半自動裝置 的詳細(xì)介紹

日本napson平板電阻薄層電阻測量半自動裝置

 

測量規(guī)格

測量目標(biāo)

  • 與半導(dǎo)體/太陽能電池相關(guān)的材料(硅,多晶硅,SiC等)
  • 新材料/功能材料(碳納米管,DLC,石墨烯,銀納米線等)
  • 導(dǎo)電薄膜相關(guān)(金屬,ITO等)
  • 擴(kuò)散樣品硅基薄膜(LTPS等),IGZO
  • 硅基外延離子注入樣品
  • 與化合物半導(dǎo)體有關(guān)的(GaAs,Epi,GaN,Epi,InP,Ga等)
  • 其他(*請與我們聯(lián)系)

測量尺寸

大300 x 300毫米(選件;大500 x 500毫米)

 

測量范圍

[電阻(比電阻)] 1m至200Ω·cm 
[片電阻] 1m至1,000kΩ/ sq(選件;?10MΩ/ sq)

測量規(guī)格

測量目標(biāo)

  • 與半導(dǎo)體/太陽能電池相關(guān)的材料(硅,多晶硅,SiC等)
  • 新材料/功能材料(碳納米管,DLC,石墨烯,銀納米線等)
  • 導(dǎo)電薄膜相關(guān)(金屬,ITO等)
  • 擴(kuò)散樣品硅基薄膜(LTPS等),IGZO
  • 硅基外延離子注入樣品
  • 與化合物半導(dǎo)體有關(guān)的(GaAs,Epi,GaN,Epi,InP,Ga等)
  • 其他(*請與我們聯(lián)系)

測量尺寸

大300 x 300毫米(選件;大500 x 500毫米)

 

測量范圍

[電阻(比電阻)] 1m至200Ω·cm 
[片電阻] 1m至1,000kΩ/ sq(選件;?10MΩ/ sq)

映射圖像

  • 半自動類型<br />(多點(diǎn)測量系統(tǒng)[包括軟件+ PC])
  • 半自動類型<br />(多點(diǎn)測量系統(tǒng)[包括軟件+ PC])

 日本napson平板電阻薄層電阻測量半自動裝置

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