通過將熱式MEMS傳感器與耐腐蝕性高的石英玻璃制流路組合，實(shí)現(xiàn)了以往測量方式難以再現(xiàn)的高測量的數(shù)mL/min的微小液體流量的測量。

開發(fā)理念是不易受流體狀態(tài)變化（氣泡、脈動(dòng)、流體溫度等）的影響，易于對測量對象流體進(jìn)行校正（通過流體的熱傳導(dǎo)率進(jìn)行校正）的易用性。通過替代泵轉(zhuǎn)速、重量測量、流體供給時(shí)間管理等方法，替換為瞬間流量等。通過測量累計(jì)流量，可以基于更可靠的測量數(shù)值進(jìn)行制造工序的質(zhì)量管理和工序異常檢測。

製品紹介動(dòng)畫

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0.可測量1mL/分鐘

采用了利用MEMS傳感技術(shù)的熱式測量原理，實(shí)現(xiàn)了以往難以穩(wěn)定測量的數(shù)mL/min的微小流量測量。

（計(jì)測流量范囲：0.1～10mL/min、0.3～30mL/min、0.5～50mL/min）

小型?輕便，安裝簡單

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與傳統(tǒng)產(chǎn)品相比，體積更小。變得更輕了。

也不需要單獨(dú)放置的轉(zhuǎn)換器（放大器）。

使用附帶的安裝支架，可以從上面（水平配管時(shí)）輕松安裝。

也可以安裝在垂直管道上（流向：下→上）。

直接喝路徑

由于是直接流路，壓力損失較小，且無積液，清洗性優(yōu)異。

高通用性

符合IP65防護(hù)結(jié)構(gòu)標(biāo)準(zhǔn)。

由于產(chǎn)品外表面不使用任何金屬材料，因此即使在受到液體飛濺的環(huán)境中也能使用，提高了對腐蝕性流體的耐性。

接液部采用石英玻璃（流路）由氟樹脂（接頭）構(gòu)成，傳感器不接觸液體，因此適用于各種流體（石英玻璃等）。可用于防止氟樹脂腐蝕的流體中。

與現(xiàn)有產(chǎn)品的比較

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F7M的測量原理

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修正前和修正后的輸出特性

測量范圍是流體的熱傳導(dǎo)率。受密度影響而變化，但可以通過校正功能調(diào)整輸出特性。

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