精密加工晶圓檢測納米表面粗糙度檢測儀
精密加工晶圓檢測納米表面粗糙度檢測儀

納米七的光學(xué)結(jié)構(gòu)以光異質(zhì)干擾為測量原理，分析并測量從兩束之間的相位差獲得的電信號。安裝時無需使用防振臺或真空設(shè)備，可實(shí)現(xiàn)高分辨率0.1nm以下。幾乎沒有消耗品，運(yùn)營成本也很低。納米七的光學(xué)結(jié)構(gòu)以光異質(zhì)干擾為測量原理，分析并測量從兩束之間的相位差獲得的電信號。安裝時無需使用防振臺或真空設(shè)備，可實(shí)現(xiàn)高分辨率0.1nm以下。幾乎沒有消耗品，運(yùn)營成本也很低。納米七的光學(xué)結(jié)構(gòu)以光異質(zhì)干擾為測量原理，分析并測量從兩束之間的相位差獲得的電信號。安裝時無需使用防振臺或真空設(shè)備，可實(shí)現(xiàn)高分辨率0.1nm以下。幾乎沒有消耗品，運(yùn)營成本也很低。納米七的光學(xué)結(jié)構(gòu)以光異質(zhì)干擾為測量原理，分析并測量從兩束之間的相位差獲得的電信號。安裝時無需使用防振臺或真空設(shè)備，可實(shí)現(xiàn)高分辨率0.1nm

• 縮短測量時間——Ra數(shù)秒測量，提高成品率

• 低價格設(shè)定：維護(hù)保養(yǎng)也很容易，幾乎不需要消耗品。

• 無需防振臺，無需選擇安裝地點(diǎn)

• 非接觸測量——利用激光進(jìn)行非接觸測量

• 広範(fàn)囲計(jì)測??型試料でも多點(diǎn)?動計(jì)測可能

• 簡單操作?測量?保存結(jié)果?レポート出?まで全?動

• 高分辨率：采用光外差干涉法實(shí)現(xiàn)的0.1nm分辨率

以下。幾乎沒有消耗品，運(yùn)營成本也很低。