便攜高穩(wěn)定性慮心半導(dǎo)體應(yīng)用無油隔膜真空泵

便攜高穩(wěn)定性慮心半導(dǎo)體應(yīng)用無油隔膜真空泵

1. 抽速與極限
• 流量：2.5 L/min（0.088 cfm）
• 極限真空：?600 mmHg（≈ ?80 kPa，85 mbar abs）
2. 過流部材質(zhì)與過濾
• 泵頭/隔膜：PTFE 復(fù)合隔膜，100% 無油
• 進(jìn)/排氣口均內(nèi)置 HEPA 濾芯（可捕集 0.3 µm 顆粒 ≥ 99.97 %），濾芯視窗可目視判斷更換時機(jī)
• 外殼：防靜電尼龍，整機(jī)靜電消散接地端子標(biāo)配
3. 便攜與靜音
• 體積 137 × 88 × 133 mm，重量僅 1.25 kg，可單手?jǐn)y帶
• 電磁驅(qū)動，無電機(jī)碳刷噪音，1 m 聲壓級 ≤ 45 dB(A)
• 電源：AC 100-120 V 或 220-240 V（型號后綴 -110/-240）即插即用，無需空壓源
4. 壽命與可靠性
• 連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)壽命 > 9 000 h（實(shí)驗(yàn)值 24 h×365 天）
• 隔膜理論免維護(hù)周期 8 000 h，現(xiàn)場 10 min 可整體更換
5. 典型應(yīng)用
• 半導(dǎo)體/LED：8-12 英寸晶圓真空吸筆、真空鑷子氣源
• 分析儀器：GC、LC、ICP 進(jìn)樣口前級泵
• 實(shí)驗(yàn)室：真空過濾、固相萃取、旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀粗抽
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1. 抽速與極限
• 流量：2.5 L/min（0.088 cfm）
• 極限真空：?600 mmHg（≈ ?80 kPa，85 mbar abs）
2. 過流部材質(zhì)與過濾
• 泵頭/隔膜：PTFE 復(fù)合隔膜，100% 無油
• 進(jìn)/排氣口均內(nèi)置 HEPA 濾芯（可捕集 0.3 µm 顆粒 ≥ 99.97 %），濾芯視窗可目視判斷更換時機(jī)
• 外殼：防靜電尼龍，整機(jī)靜電消散接地端子標(biāo)配
3. 便攜與靜音
• 體積 137 × 88 × 133 mm，重量僅 1.25 kg，可單手?jǐn)y帶
• 電磁驅(qū)動，無電機(jī)碳刷噪音，1 m 聲壓級 ≤ 45 dB(A)
• 電源：AC 100-120 V 或 220-240 V（型號后綴 -110/-240）即插即用，無需空壓源
4. 壽命與可靠性
• 連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)壽命 > 9 000 h（實(shí)驗(yàn)值 24 h×365 天）
• 隔膜理論免維護(hù)周期 8 000 h，現(xiàn)場 10 min 可整體更換
5. 典型應(yīng)用
• 半導(dǎo)體/LED：8-12 英寸晶圓真空吸筆、真空鑷子氣源
• 分析儀器：GC、LC、ICP 進(jìn)樣口前級泵
• 實(shí)驗(yàn)室：真空過濾、固相萃取、旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀粗抽
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