產(chǎn)品資料
數(shù)字磁懸浮高抽速排氣大流量復(fù)合渦輪分子泵
產(chǎn)品名稱: 數(shù)字磁懸浮高抽速排氣大流量復(fù)合渦輪分子泵
產(chǎn)品型號: UTM-1400FW
產(chǎn)品特點: 數(shù)字磁懸浮高抽速排氣大流量復(fù)合渦輪分子泵日本 ULVAC 愛發(fā)科 UTM-1400FW 屬于「UTM-FW 系列」數(shù)字磁懸浮型復(fù)合渦輪分子泵，主打“大流量＋寬量程“排氣，定位在中-高負荷工藝（干法刻蝕、CVD、磁控濺射等）主抽或?qū)p-重混合氣體做高抽速排氣。額定抽速（N?）：1490 L/s（VG250 法蘭，
數(shù)字磁懸浮高抽速排氣大流量復(fù)合渦輪分子泵 的詳細介紹
數(shù)字磁懸浮高抽速排氣大流量復(fù)合渦輪分子泵
數(shù)字磁懸浮高抽速排氣大流量復(fù)合渦輪分子泵
日本 ULVAC 愛發(fā)科 UTM-1400FW 屬于「UTM-FW 系列」數(shù)字磁懸浮型復(fù)合渦輪分子泵，主打"大流量＋寬量程"排氣，定位在中-高負荷工藝（干法刻蝕、CVD、磁控濺射等）主抽或?qū)p-重混合氣體做高抽速排氣。綜合各道 2025 年仍在發(fā)布的規(guī)格表，可歸納如下核心信息：
一、主要性能參數(shù)
- 額定抽速（N?）：1490 L/s（VG250 法蘭，無保護網(wǎng)）
- 極限壓力：<10?? Pa（配推薦前級泵，23 ℃空載）
- 最大允許前級背壓：約 80 Pa（FW 系列設(shè)計背壓高于傳統(tǒng)機型，可配更小前級泵）
- 壓縮比：N?＞1×101?，H?≈ 2×10?
- 可變速范圍：25 % – 100 %（數(shù)字控制，自動跟蹤負載）
- 冷卻方式：水冷（內(nèi)置水道，水流量 2 L/min，25 ℃）
- 允許全方向安裝，不受磁懸浮軸承角度限制
二、結(jié)構(gòu)與技術(shù)特點
- 五軸主動磁浮軸承
- 轉(zhuǎn)子 100 % 無接觸、無油、無脂，理論上免維護 10 萬小時
- 自帶斷電再生發(fā)電(Back-EMF)功能，停電時利用轉(zhuǎn)子動能供電，維持懸浮至安全停機，無需更換電池
- 復(fù)合級段設(shè)計
- 上部多段軸流渦輪＋下部 Holweck/螺紋牽引級，兼顧高壓縮比與大通量
- 內(nèi)表面可選 Ni-P+DLC、陽極氧化或特殊陶瓷涂層，提高抗鹵素/含氟工藝腐蝕能力（訂貨代碼 -HC）
- 數(shù)字控制 & 診斷
- RS-485/UL-NET 接口，可遠程讀取轉(zhuǎn)速、電流、振動、溫度等 10 余項實時數(shù)據(jù)
日本 ULVAC 愛發(fā)科 UTM-1400FW 屬于「UTM-FW 系列」數(shù)字磁懸浮型復(fù)合渦輪分子泵，主打"大流量＋寬量程"排氣，定位在中-高負荷工藝（干法刻蝕、CVD、磁控濺射等）主抽或?qū)p-重混合氣體做高抽速排氣。綜合各渠道 2025 年仍在發(fā)布的規(guī)格表，可歸納如下核心信息：
一、主要性能參數(shù)
- 額定抽速（N?）：1490 L/s（VG250 法蘭，無保護網(wǎng)）
- 極限壓力：<10?? Pa（配推薦前級泵，23 ℃空載）
- 最大允許前級背壓：約 80 Pa（FW 系列設(shè)計背壓高于傳統(tǒng)機型，可配更小前級泵）
- 壓縮比：N?＞1×101?，H?≈ 2×10?
- 可變速范圍：25 % – 100 %（數(shù)字控制，自動跟蹤負載）
- 冷卻方式：水冷（內(nèi)置水道，水流量 2 L/min，25 ℃）
- 允許全方向安裝，不受磁懸浮軸承角度限制
二、結(jié)構(gòu)與技術(shù)特點
- 五軸主動磁浮軸承
- 轉(zhuǎn)子 100 % 無接觸、無油、無脂，理論上免維護 10 萬小時
- 自帶斷電再生發(fā)電(Back-EMF)功能，停電時利用轉(zhuǎn)子動能供電，維持懸浮至安全停機，無需更換電池
- 復(fù)合級段設(shè)計
- 上部多段軸流渦輪＋下部 Holweck/螺紋牽引級，兼顧高壓縮比與大通量
- 內(nèi)表面可選 Ni-P+DLC、陽極氧化或特殊陶瓷涂層，提高抗鹵素/含氟工藝腐蝕能力（訂貨代碼 -HC）
- 數(shù)字控制 & 診斷
- RS-485/UL-NET 接口，可遠程讀取轉(zhuǎn)速、電流、振動、溫度等 10 余項實時數(shù)據(jù)
相關(guān)產(chǎn)品
產(chǎn)品目錄
-
儀器儀表
- 溶解氧測定儀
- 透過率計
- 電源
- 恒溫器
- 蝶閥
- 熔點儀
- 圧力計
- pH計
- 電阻測試儀
- 密封試驗儀
- 余氯測定儀
- 色差儀
- 流速儀
- 抵抗計
- 絕緣電阻計
- 噪聲計
- 深度計
- 記錄儀
- 記錄器
- 溫度儀
- 氣體檢測儀
- 熱電偶
- 粉塵儀
- 磁通計
- 角度計
- 加振器
- 探傷儀
- 氧氣計
- 計量泵
- 尺子測量
- 測量儀
- 密度計
- 馬弗爐
- 恒溫槽
- 壓縮機
- 離心泵
- 螺桿泵
- 葉片泵
- 柱塞泵
- 蠕動泵
- 定量泵
- 隔膜泵
- 酸堿度計
- 濁度計
- 電導(dǎo)率儀
- 鹽分計
- 檢測儀
- 監(jiān)測儀
- 色度計
- 分光輻射計
- 差壓計
- 壓力表
- 料位計
- 電平計
- 比重計
- 流速計
- 工業(yè)內(nèi)窺鏡
- 扭矩計
- 應(yīng)力計
- 檢查器
- 檢針器
- 溫度計
- 摩擦計
- 放大鏡
- 粒度儀
- 篩分儀
- 試験機
- 測定儀
- 露點儀
- 電氣爐
- 轉(zhuǎn)速表
- 水分計
- 濃度計
- 流量計
- 物位計
- 測厚儀
- 硬度計
- 光纖測定器
- 水分活性測定
- 熱風(fēng)計
- 數(shù)字照度計
- 風(fēng)速計
- 實體顯微鏡
- 環(huán)境測定計
- 躁聲計
- 真空計
- 液位計
- 高斯計
- 控制閥
- 壓力計
- 噴嘴類
- 泵類
聯(lián)系我們
聯(lián)系人：林經(jīng)理
地址：深圳市龍崗區(qū)龍崗街道新生社區(qū)新旺路和健云谷2棟B座1002
Email：akiyama_linkkk@163.com
郵編：
QQ：909879999
地址：深圳市龍崗區(qū)龍崗街道新生社區(qū)新旺路和健云谷2棟B座1002
Email：akiyama_linkkk@163.com
郵編：
QQ：909879999
在線客服