超高真空環(huán)境應(yīng)用無油清潔離子真空泵

超高真空環(huán)境應(yīng)用無油清潔離子真空泵

Canon anelva 912-7125 是一款離子泵，標(biāo)稱抽速 20 L/s（對(duì)氮?dú)猓?，工作范圍約 1×10?1 Pa 到 1×10?? Pa，啟動(dòng)壓力需低于 1.3 Pa。泵體入口為 φ70 ICF，內(nèi)部容積 1.4 L，重量約 10.5 kg，標(biāo)稱可烘烤溫度 250 ℃。該泵不使用油，依靠冷陰極放電和鈦濺射吸氣，運(yùn)行時(shí)不產(chǎn)生振動(dòng)，適用于表面分析、電鏡等需要清潔真空的環(huán)境

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