超高真空切換高清潔型高精度大氣門(mén)閥

超高真空切換高清潔型高精度大氣門(mén)閥

高清潔 · 大氣門(mén)閥 · PVD/CVD/ALD/PECVD · 刻蝕 · 真空 ≤1×10?? Pa
0-180 °C · ±0.1 mm · 真空 ≤1×10?? Pa · 重量 2.1 kg · 5 年壽命

一、產(chǎn)品定位

• 高清潔型：Class 100，無(wú)油、無(wú)顆粒，PVD/CVD/ALD/PECVD 兼容
• 大氣門(mén)閥：大氣 ? 真空切換，刻蝕、沉積、離子注入
• PVD/CVD/ALD/PECVD/刻蝕：真空 ≤1×10?? Pa，0-180 °C，±0.1 mm
• VTEX 系列：0-180 °C，±0.1 mm，真空 ≤1×10?? Pa，5 年壽命

二、核心技術(shù)參數(shù)（VTEX 系列）

三、功能亮點(diǎn)

1. ≤ 1×10?? Pa 超高真空：全范圍真空兼容，PVD/CVD/ALD/PECVD 兼容
2. 0-180 °C 全溫度：0-180 °C 全溫度，PVD/CVD/ALD/PECVD 兼容
3. ±0.1 mm 高精度：閉環(huán)控制，±0.1 mm 高精度，晶圓級(jí)精度
4. Class 100 高清潔：0.3 µm ≤ 100 pc/ft3，Class 100 高清潔
5. 2.1 kg 超輕：A5 底面積，可手提移動(dòng)，實(shí)驗(yàn)室即用
6. 5 年壽命：高清潔密封，5 年免維護(hù)

四、典型應(yīng)用系統(tǒng)

半導(dǎo)體 PVD/CVD/ALD/PECVD┌─ 真空腔體 ─┐│               │閥← VTEX ← 真空饋通 NW16│               │└─ 回大氣 ────┘

• 真空度 ≤ 1×10?? Pa，0-180 °C，±0.1 mm 精度
• RS-485 實(shí)時(shí)輸出，PLC 閉環(huán)控制

五、實(shí)測(cè)數(shù)據(jù)（PVD/CVD/PECVD 驗(yàn)證）

• 真空：1×10?? Pa，25 ℃
• VTEX：
• 真空度 ≤ 1×10?? Pa（全范圍）
• 溫度 180 °C（±0.1 mm）
• 壽命 5 年（連續(xù)運(yùn)行）

六、選型與配件

七、維護(hù)與可靠性

• 密封：5 年壽命，免維護(hù)
• 真空饋通：每月清潔一次
• 電源：年漂移 < 0.1 %，無(wú)需校準(zhǔn)
• 整機(jī) 2 年質(zhì)保，10 年配件保障

八、結(jié)論