產(chǎn)品資料
應用于半導體晶圓清洗后去水熱風旋轉干燥機
產(chǎn)品名稱: 應用于半導體晶圓清洗后去水熱風旋轉干燥機
產(chǎn)品型號: OKH -系列
產(chǎn)品特點: 應用于半導體晶圓清洗后去水熱風旋轉干燥機日本 OKK（大宮工業(yè)）OKH-系列是一款公轉式（軌道旋轉）旋轉干燥機，專為半導體晶圓、精密基板的高速甩干、去水、熱風干工藝設計，廣泛應用于晶圓清洗后干燥、顯影后干燥、CMP 后清洗干燥等工序。? 核心賣點公轉式旋轉：晶圓自轉 + 公轉雙重運動，無中心水滴殘留，干燥均勻性 ≤ 1 mm 水滴直徑高潔凈設計：ISO Class 5（100 級）兼容，不
應用于半導體晶圓清洗后去水熱風旋轉干燥機 的詳細介紹
應用于半導體晶圓清洗后去水熱風旋轉干燥機
應用于半導體晶圓清洗后去水熱風旋轉干燥機
日本 OKK（大宮工業(yè)）OKH-系列是一款公轉式（軌道旋轉）旋轉干燥機，專為半導體晶圓、精密基板的高速甩干、去水、熱風干工藝設計，廣泛應用于晶圓清洗后干燥、顯影后干燥、CMP 后清洗干燥等工序。
? 核心賣點
- 公轉式旋轉：晶圓自轉 + 公轉雙重運動，無中心水滴殘留，干燥均勻性 ≤ 1 mm 水滴直徑
- 高潔凈設計：ISO Class 5（100 級）兼容，不銹鋼鏡面 + 氟樹脂涂層，無顆粒、無金屬污染
- 高速旋轉：最高 3,000 rpm（可調），G-Force 1,200 × g，干燥時間 ≤ 15 秒/片
- 熱風干 + N? purge：內置 HEPA + 加熱器（室溫~120 °C），可切換 N?，防止氧化/水痕
- 多尺寸兼容：2~8 英寸（50 mm – 200 mm）晶圓，無需更換夾具，一鍵切換
- 顆?？刂?/span>：< 10 pcs @ 0.2 µm（激光粒子計數(shù)器驗證），滿足 7 nm 節(jié)點要求
?? 技術參數(shù)（OKH-800 為例）
| 項目 | 參數(shù) |
|---|---|
| 旋轉方式 | 公轉 + 自轉（行星式） |
| 最大轉速 | 3,000 rpm（變頻調速） |
| 旋轉加速度 | 1.2 秒升至 3,000 rpm |
| 干燥時間 | 5 – 15 s（可調） |
| 晶圓尺寸 | 2″ 3″ 4″ 5″ 6″ 8″（通用夾具） |
| 潔凈等級 | ISO 5（100 級） |
| 干燥溫度 | 室溫 – 120 °C（PID 控制 ±1 °C） |
| 氣體 | 潔凈空氣或 N?（切換閥） |
| 過濾 | HEPA 0.1 µm，效率 ≥ 99.995 % |
| 材質 | 304 不銹鋼 + 氟樹脂涂層 |
| 電源 | AC 200 V 三相 50/60 Hz，1.2 kW |
| 尺寸/重量 | 600 × 600 × 1,200 mm，≈85 kg |
| 控制 | 7 寸觸控 + PLC，可存 50 組 recipe |
| 數(shù)據(jù)輸出 | RS-485（Modbus RTU） + 以太網(wǎng) |
?? 機型一覽
| 型號 | 最大片徑 | 轉速 | 備注 |
|---|---|---|---|
| OKH-500 | 4 英寸 | 2,000 rpm | 實驗室桌面型 |
| OKH-800 | 8 英寸 | 3,000 rpm | 產(chǎn)線主力型 |
| OKH-1200 | 12 英寸（300 mm） | 2,500 rpm | 450 mm 晶圓預備 |
?? 典型工藝
- RCA 清洗后干燥：旋轉 + 熱 N?，無水痕、無顆粒再附著
- 顯影后干燥：低轉速 500 rpm + 常溫 N?，防止圖案坍塌
- CMP 后清洗干燥：高速 2,500 rpm + 80 °C 熱風，去除殘留漿料
- SOI 薄片干燥：公轉式支撐，無邊緣缺口、無裂紋
?? 選配功能
- 靜電消除：內置離子棒，表面電位 < 50 V
- 旋轉監(jiān)測：實時反饋 rpm，偏差 > 1 % 報警
- 化學液滴加：可升級 IPA 滴加系統(tǒng)，Marangoni 干燥
- FFU 聯(lián)動：可與潔凈室 FFU 同步啟停，節(jié)能 30 %
?? 總結
OKK OKH-系列 = “公轉式晶圓甩干機"里的高速、高潔凈、多尺寸兼容方案，干燥時間 < 15 秒，顆粒增量 < 10 pcs (0.2 µm)，滿足7 nm 節(jié)點要求，是日本半導體產(chǎn)線（晶圓廠、封測廠）里常見的清洗后干燥標準機型。
產(chǎn)品目錄
-
機械設備
- 磁選機
- 純水器
- 超聲波清洗器
- 壓力傳感器
- 流量控制器
- 乳缽機
- 水準儀
- 變送器
- 臭氧檢測儀
- 色譜儀
- 拋光機
- 加熱器
- 張力計
- 混凝土檢測儀
- 加熱板
- 儲藏
- 壓力機
- 熱壓機
- 破碎機
- 振蕩器
- 電爐
- 分散機
- 切割機
- 往復泵
- 攪拌
- 色選機
- 擂潰
- 臭氧發(fā)生器
- 氣體發(fā)生器
- 混合器
- 移液器
- 高速相機
- 涂布機
- 鍍膜機
- 試驗機
- 球磨機
- 均質機
- 脫泡機
- 點焊機
- 干燥機
- 研磨機
- 密度儀
- 擂搗機
- 混合設備
- 除鐵機
- 電子
- 填充頭
- 裝置
- 點膠筆
- 傳感器
- 冷卻器
- 機器
- 壓鑄機
- 氧氣監(jiān)視器
- 系統(tǒng)
- 粉碎機
- 輪廓儀
- 測量針
- 過濾器
- 比色計
- 亮度計
- 噴霧干燥機
- 真空加熱裝置
- 蒸發(fā)器
- 化學合成反應裝置
- 溫度濕度計
- 真空泵
- 循環(huán)排水器
- 化學反應裝置
- 工業(yè)設備
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