產(chǎn)品資料
半導(dǎo)體用高純氣體在線交換式氣體加熱器
產(chǎn)品名稱: 半導(dǎo)體用高純氣體在線交換式氣體加熱器
產(chǎn)品型號: S/M/L系列
產(chǎn)品特點(diǎn): 半導(dǎo)體用高純氣體在線交換式氣體加熱器日本 WATTY（ワッティ）S/M/L 系列是專為半導(dǎo)體?FPD 產(chǎn)線高純氣體設(shè)計(jì)的在線、交換式（Hot-Swap）氣體加熱器，可在不中斷工藝、不暴露大氣的情況下快速更換加熱芯，實(shí)現(xiàn)高純氣體（N?、H?、CDA、Ar、He 等）恒溫供應(yīng)，廣泛應(yīng)用于光刻機(jī)溫控、CVD/ALD 前驅(qū)劑載氣、面板 PLASMA 清洗、EUV 真空管路等。? 核心賣點(diǎn)交換式（Ca
半導(dǎo)體用高純氣體在線交換式氣體加熱器 的詳細(xì)介紹
半導(dǎo)體用高純氣體在線交換式氣體加熱器
半導(dǎo)體用高純氣體在線交換式氣體加熱器
日本 WATTY（ワッティ）S/M/L 系列是專為半導(dǎo)體?FPD 產(chǎn)線高純氣體設(shè)計(jì)的在線、交換式（Hot-Swap）氣體加熱器，可在不中斷工藝、不暴露大氣的情況下快速更換加熱芯，實(shí)現(xiàn)高純氣體（N?、H?、CDA、Ar、He 等）恒溫供應(yīng)，廣泛應(yīng)用于光刻機(jī)溫控、CVD/ALD 前驅(qū)劑載氣、面板 PLASMA 清洗、EUV 真空管路等。
? 核心賣點(diǎn)
- 交換式（Cartridge）結(jié)構(gòu)：30 秒完成加熱芯更換，無需停氣、無需工具
- 高純對應(yīng)：全 316L EP 管 + VCR 接頭，Ra ≤ 0.25 µm，Particle ≤ 1 pc/L (≥0.2 µm)
- 高溫高精度：最高 200 °C，控制精度 ±0.5 °C（@ 10 L/min）
- Hot-Swap：雙腔體旁路設(shè)計(jì)，在線切換加熱芯，O? 暴露 < 10 ppm?min
- 多容量：S/M/L 三系列，流量 3 – 200 L/min 全覆蓋
- 認(rèn)證：SEMI F20、SEMI S2、RoHS、CE 壓力容器豁免
?? 系列規(guī)格速覽
| 系列 | 流量范圍 | 最高出口溫度 | 加熱功率 | 接管口徑 | 全長 | 重量 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| S | 3 – 20 L/min | 200 °C | 0.5 kW | ?" VCR | 235 mm | 2.8 kg |
| M | 20 – 80 L/min | 200 °C | 1.5 kW | ?" VCR | 315 mm | 5.5 kg |
| L | 80 – 200 L/min | 200 °C | 3.0 kW | ?" VCR | 410 mm | 9.2 kg |
日本 WATTY（ワッティ）S/M/L 系列是專為半導(dǎo)體?FPD 產(chǎn)線高純氣體設(shè)計(jì)的在線、交換式（Hot-Swap）氣體加熱器，可在不中斷工藝、不暴露大氣的情況下快速更換加熱芯，實(shí)現(xiàn)高純氣體（N?、H?、CDA、Ar、He 等）恒溫供應(yīng)，廣泛應(yīng)用于光刻機(jī)溫控、CVD/ALD 前驅(qū)劑載氣、面板 PLASMA 清洗、EUV 真空管路等。
? 核心賣點(diǎn)
- 交換式（Cartridge）結(jié)構(gòu)：30 秒完成加熱芯更換，無需停氣、無需工具
- 高純對應(yīng)：全 316L EP 管 + VCR 接頭，Ra ≤ 0.25 µm，Particle ≤ 1 pc/L (≥0.2 µm)
- 高溫高精度：最高 200 °C，控制精度 ±0.5 °C（@ 10 L/min）
- Hot-Swap：雙腔體旁路設(shè)計(jì)，在線切換加熱芯，O? 暴露 < 10 ppm?min
- 多容量：S/M/L 三系列，流量 3 – 200 L/min 全覆蓋
- 認(rèn)證：SEMI F20、SEMI S2、RoHS、CE 壓力容器豁免
?? 系列規(guī)格速覽
| 系列 | 流量范圍 | 最高出口溫度 | 加熱功率 | 接管口徑 | 全長 | 重量 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| S | 3 – 20 L/min | 200 °C | 0.5 kW | ?" VCR | 235 mm | 2.8 kg |
| M | 20 – 80 L/min | 200 °C | 1.5 kW | ?" VCR | 315 mm | 5.5 kg |
| L | 80 – 200 L/min | 200 °C | 3.0 kW | ?" VCR | 410 mm | 9.2 kg |
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