工業(yè)級(jí)大流量氣體質(zhì)量流量調(diào)節(jié)計(jì)控制器

產(chǎn)品名稱: 工業(yè)級(jí)大流量氣體質(zhì)量流量調(diào)節(jié)計(jì)控制器

產(chǎn)品型號(hào): 6700系列

產(chǎn)品特點(diǎn): 工業(yè)級(jí)大流量氣體質(zhì)量流量調(diào)節(jié)計(jì)控制器
日本 KOFLOC 6700 系列是專為“大流量、零泄漏"設(shè)計(jì)的工業(yè)級(jí)壓力調(diào)節(jié)器（Pressure Reducing Regulator），適用于氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器（MFC）入口穩(wěn)壓、半導(dǎo)體吹掃、化工反應(yīng)器、燃料電池測(cè)試臺(tái) 等需要 10–600 L/min 級(jí)別潔凈氣體且不允許任何旁通泄漏的場(chǎng)合。

工業(yè)級(jí)大流量氣體質(zhì)量流量調(diào)節(jié)計(jì)控制器 的詳細(xì)介紹

工業(yè)級(jí)大流量氣體質(zhì)量流量調(diào)節(jié)計(jì)控制器

日本 KOFLOC 6700 系列是專為“大流量、零泄漏"設(shè)計(jì)的工業(yè)級(jí)壓力調(diào)節(jié)器（Pressure Reducing Regulator），適用于氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器（MFC）入口穩(wěn)壓、半導(dǎo)體吹掃、化工反應(yīng)器、燃料電池測(cè)試臺(tái) 等需要 10–600 L/min 級(jí)別潔凈氣體且不允許任何旁通泄漏的場(chǎng)合。

? 系列定位

表格

復(fù)制

項(xiàng)目	說(shuō)明
型號(hào)	6700 系列（6701 / 6702 / 6703 / 6704）
通徑	1/4″、3/8″、1/2″、3/4″（對(duì)應(yīng) 6701→6704）
零泄漏	金屬波紋管 + 雙 O-ring，He 泄漏率 ≤ 1 × 10?? Pa·m3/s
大流量	Max 600 L/min（N?，入口 0.7 MPa，出口 0.2 MPa）
用途	MFC 入口穩(wěn)壓、半導(dǎo)體 purge、燃料電池臺(tái)、化工配氣

?? 主要規(guī)格

表格

復(fù)制

參數(shù)	6701	6702	6703	6704
端口尺寸	RC1/4	RC3/8	RC1/2	RC3/4
最大入口壓力	1.0 MPa	1.0 MPa	1.0 MPa	1.0 MPa
出口調(diào)壓范圍	0.01–0.4 MPa	0.01–0.4 MPa	0.01–0.4 MPa	0.01–0.4 MPa
Cv 值	0.4	0.8	1.4	2.2
流量能力	100 L/min	200 L/min	400 L/min	600 L/min
閥座材料	PCTFE（標(biāo)準(zhǔn)），可選 PFA、SUS316L
波紋管	SUS316L 焊接，彈性密封，無(wú)背漏
溫度范圍	-10 – 70 ℃（可選高溫 120 ℃型）
重量	0.7 kg	0.9 kg	1.3 kg	1.8 kg

?? 結(jié)構(gòu)亮點(diǎn)

金屬波紋管平衡式
入口壓力波動(dòng)自動(dòng)補(bǔ)償，出口壓力變化 ≤ ±0.3 % F.S.（入口 0.3→0.7 MPa 階躍）。
雙密封零泄漏
波紋管 + FKM/FFKM O-ring，He 檢漏 ≤ 1 × 10?? Pa·m3/s，滿足 SEMI F70、ISO 15848-1 BH 級(jí)。
大 Cv 設(shè)計(jì)
閥座流道采用 CFD 優(yōu)化，壓降比傳統(tǒng) 3000 系列降低 35 %，同等流量可選更小口徑。
潔凈級(jí)處理
全系列經(jīng) 0.1 µm 過(guò)濾潔凈空氣吹掃 + 超聲波純水清洗，顆粒 ≤ 100 pcs/ft3 (@0.1 µm)。
面板/底板兩用
自帶 30 × 30 mm 方板，可嵌入 19″ 機(jī)架或管路在線安裝，無(wú)需額外支架。

?? 典型應(yīng)用流程

表格

復(fù)制

系統(tǒng)	用法	效果
半導(dǎo)體 CVD	MFC 入口穩(wěn)壓 0.15 MPa	流量重復(fù)性 ↑ 0.5 % → 0.1 %
燃料電池臺(tái)	陽(yáng)極 H? 0.2 MPa 恒壓	防止膜入口壓力脈沖破裂
化工配氣	反應(yīng)器 6 路大流量 N? 吹掃	6704 一路替代兩只傳統(tǒng) R-700，節(jié)省空間 40 %
LPG 混合燃燒	0.3 MPa 減壓至 0.05 MPa	零泄漏避免危險(xiǎn)氣體滲入控制柜

??? 選型與選項(xiàng)

表格

復(fù)制

代碼	含義
-HT	高溫型 120 ℃，閥座 PEEK + FFKM
-PFA	全 PFA 閥座，強(qiáng)腐蝕性氣體（Cl?、HBr）
-B	帶入口 0.3 MPa 安全閥，防止過(guò)壓沖擊 MFC
-C	出口壓力表 ?50 mm，0–0.4 MPa，面板安裝
-SC	表面電解拋光 Ra ≤ 0.25 µm，UHP 級(jí)